Hợp chất khí với hiđro của một nguyên tố là RH4, theo bảng tuần hoàn suy ra công thức oxit cao nhất của R là RO2, trong phân tử RO2, có 53,3% oxi về khối lượng nên R có 100 - 53,3 = 46,7% về khối lượng
Trong phân tử RO2 có: 53,33% O là 32u
46,7% R là yu
Giải ra ta được y ≈ 28. Nguyên tử khối là R = 28.
Vậy R là Si. Công thức phân tử là SiH4 và SiO2